1. 产品简介：
Harrick Plasma是国际的等离子清洗器生产商，在业内已经有三十多年的经验。他所生产的小型等离子清洗器结构紧凑、质量可靠、价格合理；广泛地被大中院校、科研机构、企业研发机构和实验室采用。其产品主要应用在材料科学、高分子科学、生物医药材料学、微流体研究、微电子机械系统研究、光学、显微术、牙科医疗等领域中的污染物清除、表面活化、粘合前处理、表面化学改性、聚合物移植或表面涂覆等方面。该产品能处理塑料、生化材料、PDMS、玻璃或金属半导体、陶瓷、复合材料、高分子聚合物等材料，并对所处理的材料表面带来表面超洁净、杀菌、提高湿润性转变、表面性质改变、提高结合力等处理效果。
2. 主要特征：
1）台式设计，结构紧凑精致
2）低、中、高三档可调节功率，可为18W
3）设备辐射小，安全环保
3. 基本参数：
1）外形尺寸：8.5"H x 10"W x 8"D（215mm x 254mm x 203mm）
2）重量：6.0kg
3）输入电源： 220 V／50Hz
4）输入功率： 100 W
5）功率档：
低档680V DC、10mA DC、6.8W
中档700V DC、15mA DC、10.5W
高档720V DC、25mA DC、18W
4. 常用工作气体：
空气、氩气、氮气或混合气体等
5. 基本配置：
1）直径3英寸，长6.5英寸的耐热玻璃舱体。
2）可拆卸舱盖。
3）为18W的RF线圈。
4）1/8英寸NPT针阀
5）1/8英寸NPT三通阀
6. 选配件：
1）石英等离子清洗舱
2）石英托盘（用于放置样品）
3）气体计量混合器Plasma FloTM
7. 周边设备：
基本型专用真空泵（PDC-VPE-2）
8. 可选件：
选件一：气体计量混合器PlasmaFloTM
功能及配置简介：
1）Harrick PlasmaFloTM气体计量混合器是一台可任选的以满足客户的不同需求的备件。
2）可应用于样品的表面改性。
3）在等离子清洗过程中气体流混合和压力监视。
4）为向舱内注入两种气体提供了可能。
5）含两个标准的气体流量计(1.0 SCFH & 2.0 SCFH)
6）温差电偶真空度表测量舱内压力
7）适用气体：空气、氮气、氩气或混合气体。
8）尺寸：8 1/2"H x 10"W x 8"D
选件二：真空泵
Harrick等离子清洗需要使用最小1.4 m3/hr (0.83 cfm)，压力为200 mTorr (0.27 mbar)的真空泵。Harrick 提供两种可选型号：
1、PDC-VP-2 (220V)
1）抽真空速度(50/60 Hz): 3.2/3.6 m3/hr
2） 极限压力(气镇关)：1.5 mTorr
3）极限压力(气镇开)：23 mTorr
4） 电机功率：(50/60 Hz): 250/300 W
5）重量: 34 lbs
6）尺寸: 9"H x 15"W x 5"D
2、PDC-VPE-2 (220V)
1） 抽真空速度(50/60 Hz): 5.1 m3/hr
2）极限压力(气镇关): 7.5 mTorr
3）极限压力(气镇开: 150 mTorr
4）电机功率(50/60 Hz): 373 W
5）重量: 27 lbs
6）尺寸: 9 3/4"H x 14"W x 5 1/2 D"
选件三：石英等离子清洗舱及托盘
