PCE-6小型等离子清洗机的等离子腔体为 Φ160mm×190mm的石英腔体，采用的射频电源功率3.0MHz（1%），输出功率7.2W、10.2W、29.6W三档可调。本机主要是通过空气、氧气或氩气等气体的等离子体来去除基片上的氧化层和污染物，同时也可改变物体表面的性质（如亲水和疏水性等），对于基片的清洗以及薄膜处理是较为理想的设备。
| 设备名称 | 6英寸小型等离子清洗机-PCE-6 （2019.11.1-科晶实验室审核） |
| 产品提示 | 1、多种配件可选提示 2、特殊设备尺寸设备 3、科晶实验室邀请提示 4、配件妥善保管提示 |
| 设备特点 | 拥有6英寸清洗腔室，可清洗约5英寸直径的基片。 ·通过控制面板的按键及开关，可控制调节射频功率、清洗时间如图一。 真空泵的开闭如图二。 ·时间、功率、真空度等信息显示在一组4位数码管上。 ·设有一个三通阀，可大体控制进气流量。 |
| 主要参数 | 输入功率：AC 220V，50/60 Hz， 射频功率：30 W 真空泵：<> 总功率：<> 射频功率：射频功率（施加在线圈上的高压和高频电流）可以在三个级别上调节：低设置7.2W；中设置10.2W; 高设定30W 射频频率：13,56 MHz
更多参数请联系科晶销售部 |
| 机体结构 | ·高纯石英腔体，Φ160mm×190mm，采用铝制折叠式法兰进行密封，法兰上设有Φ45mm 的观察窗 ·带观察窗的铰链式门，便于样品加载和观察
控制面板：控制功能：清洁时间，射频功率，真空泵。
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| 惰性气体 | ·通入气体：可通入多种气体来产生等离子，如N2、Ar、H2、O2、Air和混合气体等（根据材料性质选定） ·等离子清洗机不得使用易燃及腐蚀性气体 |
| 外形尺寸 | ·400mm×300mm×300mm
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| 净重 | 10.2kg |
| 认证 | CE认证 |
| 质保期 | 一年保修，终身技术支持。 特别提示：1.耗材部分如加热元件，石英管，样品坩埚等不包含在内。2.因使用腐蚀性气体和酸性气体造成的损害不在保修范围内。 |
