产品参数：
| 型号 | 真空等离子清洗机TS-PL200MA |
| 射频电源 | 13.56MHz |
| 电源匹配器 | 0~1000W可调 |
| PLC自动控制系统 | 日本三菱 |
| 变频控制系统 | 中国台湾台达，PID闭环控制，真空度可维持 |
| 人机工控系统 | 中国台湾威纶、7寸 |
| 真空泵 | 飞越 |
| 真空排气系统 | 北仪、全不锈钢管路+波纹管+2级过滤装置 |
| 真空供气系统 | SMC、Φ6全不锈钢管+不锈钢锁套管路 |
| 变频控制系统 | 台达PID闭环控制 |
| 破真空系统 | 北仪、 |
| 工作真空度 | 10~60pa（可根据要求设定，可恒定真空度） |
| 设备重量（含主机/真空泵） | 500KG |
| 压缩空气要求 | 0.6~0.8MPa |
| 处理气体 | O2、N2、Ar2、CF4 |
东信高科真空等离子清洗机性能优势：
1、适用形状复杂样品，包括内孔内壁，均匀清洗。
2、处理全程无污染。
3、进口精密CNC数控机床加工工艺，并经过进口三坐标测量仪进行质量监控。
4、密封性的真空腔体设计，级别的高真空度腔体设计及制造工艺。
5、电源电路技术，产生高密度等离子体，确保出众的清洗效果。
6、特殊处理及特殊结构的放电装置，确保形成稳定均匀的等离子体。
7、采用高精度电子流量计，美国世维洛克气体管路及阀件。
8、自主研发的低压真空等离子清洗软件系统，性能稳定可靠，操作简单，便于维护，高效便捷。
9、强大全面的安全防护系统，温度安全防护功能，过载防护功能，短路断路报警防护功能，各种误操作保护功能。
真空等离子清洗机原理：
1.1 等离子体反应机理
等离子体是正离子和电子的密度大致相等的电离气体。由离子、电子、自由激进分子、光子以及中性粒子组成，是物质的第四态。在等离子体中除了气体分子、离子和电子外，还有存在受到能量激励状态电中性的原子或原子团(又称自由基)，以及等离子体发射出的光线，其中波的长短、能量的高低,在等离子体与物体表面相互作用时有着重要的作用。
1.2等离子体表面处理机理：
（A）对材料表面的刻蚀作用
物理作用 等离子体中的大量离子、激収态分子、自由基等多种活性粒子，作用到固体样品表面，清除了表面原有的污染物和杂质，而且会产生刻蚀作用，将样品表面变粗糙，形成许多微细坑洼，增大了样品的比表面。提高固体表面的润湿性能。
（B）激活键能，交联作用
等离子体中的粒子能量在 0~20eV，而聚合物中大部分的键能在 0~10eV，因此等离子体作用到固体表面后，可以将固体表面的原有的化学键产生断裂，等离子体中的自由基中的这些键形成网状的交联结构，大大地激活了表面活性。
（C）形成新的官能团
化学作用如果放电气体中引入反应性气体，那么在活化的材料表面会发生复杂的化学反应，引入新的官能团，如烃基、氨基、羧基等，这些官能团都是活性基团，能明显提高材料表面活性。
1.3真空等离子清洗机工作原理
该设备主要由真空腔体及高频等离子电源、抽真空系统、充气系统、自动控制系统等部分组成。工作基本原理是在真空状态下，利用真空泵将工作室进行抽真空达到0.15-0.3mbar的真空度，再在高频发生器作用下，将气体进行电离，形成等离子体（物质第四态），然后利用等离子体对工件进行表面处理。等离子态显著的特点是高均匀性辉光放电，根据不同气体发出从蓝色到深紫色的色彩可见光，材料处理温度接近室温。这些高度活跃微粒子和处理的表面发生作用，得到了表面亲水性、拒水性、低摩擦、高度清洁、激活、蚀刻等各种表面改性。
真空等离子清洗机使用范围：
1．等离子表面活化/清洗； 2.等离子处理后粘合; 3. 等离子蚀刻/活化; 4. 等离子去胶; 5. 等离子涂镀(亲水,疏水); 6. 增强邦定性；7.等离子涂覆； 8.等离子灰化和表面改性等场合。
通过其处理，能够改善材料表面的浸润能力，使多种材料能够进行涂覆、镀等操作，增强粘合力、键合力，同时去除有机污染物、油污或油脂。
售后服务：
响应迅速，在深圳、苏州、成都、长沙、郑州等地均有售后服务团队。供方严格按现行国家标准及技术规格要求确保产品性能、质量.
真空等离子清洗机整机保修壹年。保修期内设备如出现故障（非人为损坏），乙方安排售后人员跟进处理，直至故障排除，（非工作时间及工作日除外）质保期后，供应商免费提供技术咨询及检修费，只收取相关成本费。
