X射线管位于分析样品上方，减少了真空室内飘散粉末损坏光管的风险，并且无需在进行粉末样品分析时使用粘合剂，使样品制备更快捷简便。
可在慢速和快速直接切换抽真空和卸真空速率，使粉末和金属样品的样品处理量达到。
特点
实现粉末、固体样品不同元素不同含量的高精度分析
高精度定位样品台满足合金分析高精度要求
特殊光学系统减少样品表面不平而引起的误差
样品室可简单移出方便清洁
操作界面简洁、自动化程度高
ZSX Primus III +
Rigaku ZSX Primus III +以很少的标准在各种样品类型中快速定量测定从氧气（O）到铀（U）的主要和次要原子元素。
高于光学元件的管道，可靠性更高
ZSX Primus III +具有创新的光学上述配置。由于样品室的维护，再也不用担心被污染的光束路径或停机时间。光学元件以上的几何结构消除了清洁问题并延长了使用时间。
高精度样品定位
样品的高精度定位确保样品表面与X射线管之间的距离保持恒定。这对于要求高精度的应用很重要，例如合金分析。ZSX Primus III +采用的光学配置进行高精度分析，旨在限度地减少样品中非平坦表面引起的误差，如熔融珠和压制颗粒
使用EZ-scan软件的SQX基本参数
EZ扫描允许用户在未事先设置的情况下分析未知样品。节省时间功能只需点击几下鼠标并输入样品名称。结合SQX基本参数软件，它可以提供最准确，速的XRF结果。SQX能够自动校正所有的矩阵效应，包括线重叠。SQX还可以校正光电子（光和超轻元素），不同气氛，杂质和不同样品尺寸的二次激发效应。使用匹配库和的扫描分析程序可以提高准确度。
特征
元素从O到U的分析
管道上方的光学器件使污染问题最小化
占地面积小，使用的实验室空间有限
高精度样品定位
特殊光学元件可减少曲面样品表面造成的误差
统计过程控制软件工具（SPC）
吞吐量可以优化疏散和真空泄漏率
