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机械手

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  • 公司名称磐石创新(江苏)电子装备有限公司
  • 品       牌
  • 型       号
  • 所  在  地
  • 厂商性质其他
  • 更新时间2023/3/7 10:54:21
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磐石创新(江苏)电子装备有限公司是一家集半导体、微电子、新材料工艺设备研发、生产、销售于一体的高科技企业,专业为客户提供交钥匙工程以及整体生产线改造升级解决方案。总部于2018年从北京迁至江苏徐州,北京设有研发中心。一期在徐州工业园租用办公生产场地共14000平米,二期将启动规模为100亩土地的项目投建,2019年将启动项目投建,设立办公大楼、研发楼、标准厂房。 公司汇聚了众多相关行业、领域的高级管理和技术人才,具有自主研发、设计和制造工艺设备的能力。长期与大专院校、研究院、用户企业等相关单位建立开放式技术合作,旨在不断解决工艺制备领域不断变化的市场需求、不断突破国外厂家长期以来形成的技术壁垒。以灵活、创新的合作模式,打造高效的技术研发平台,不断提升产品核心技术。 主营产品:半导体工艺炉设备、真空类设备、清洗类设备、辅助配件、智能工厂生产线。
机械手
机械手 产品信息

设备简介

机械手做为晶片搬运和镀膜工艺过程转换中的执行元件,在半导体行业中广泛应用。该产品采用*的结构,提高了手臂的刚性,并有效抑制振动,轻量化设计满足高速要求。具有多重安全保护功能。肘部和腕部灵活控制,更节省空间,适应性更强。是半导体行业关键部件之一。

技术参数

结构形式 柱坐标型/SCARA型
负载 名称 晶圆
直径 Φ200mm/Φ300mm
重量 ≤0.5kg
自由度数 3
回转直径 520mm
运动范围 升降轴 (Z轴) 50mm
回转轴 (T轴) 360°
伸展轴 (R轴) R750mm
速度 升降轴 (Z轴) 300mm/s
回转轴 (T轴) 360°
伸展轴 (R轴) 800mm/s
重复定位精度 升降轴 (Z轴) ±0.1 mm(3σ)
回转轴 (T轴) ±0.01°(3σ)
伸展轴 (R轴) ±0.1 mm(3σ)

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