复合真空计系列产品，其低真空测量单元采用电阻规，高真空测量单元采用电离规。使用单片机系统实现从低真空到高真空宽量程自动连续测量和控制。高真空单元可由低真空单元自动启动或单独手动启动。用户可在仪器面板上全量程任意设置点控和区域控制。该仪器适用于镀膜机、排气台等工业设备。
技术参数
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ZDF-5227型|ZDF-5227-S型
测量范围：1.0×105～1.0×10-5Pa 测量路数：2路 控制范围：1.0×105～1.0×10-5Pa 控制路数：4路 控制方式：点控和区域控制 控制精度：≤±1% 负载：AC 220V/3A 无感负载 响应时间：≤1s 显示方式：ZDF-5227数码双显;ZDF-5227-S数码单显 模拟输出：0～5V、4～20mA（选装件） 通讯接口：RS-232（打印、数据处理及多路控制）（选装件） 使用环境：-5℃～40℃、湿度≤95% 电源：AC 220V±10% 50Hz 功耗：55W 重量：≤4Kg 机箱类型：(ZDF-5227-S)B型;(ZDF-5227)C型 | ZDF-5227-Ⅲ-LH型
测量范围：1.0×105～1.0×10-5Pa 测量路数：3路 控制范围：1.0×105～1.0×10-5Pa 控制路数：4路 控制方式：点控和区域控制 控制精度：≤±1% 负载：AC 220V/3A 无感负载 响应时间：≤1s 显示方式：数码双显 模拟输出：0～5V、4～20mA（选装件） 通讯接口：RS-232（打印、数据处理及多路控制）（选装件） 使用环境：-5℃～40℃、湿度≤95% 电源：AC 220V±10% 50Hz 功耗：55W 重量：≤4Kg 机箱类型：C型 |
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ZDF-5210型 ZDF-5210-Ⅲ-LH型
测量范围：1.0×105～1.0×10-4Pa 测量路数：(ZDF-5210)2路 (ZDF-5210-Ⅲ)3路 控制范围：1.0×105～1.0×10-4Pa 控制路数：4路 控制方式：点控和区域控制 控制精度：≤±1% 负载：AC 220V/3A 无感负载 响应时间：≤1s 显示方式：数码双显 模拟输出：0～5V、4～20mA（选装件） 通讯接口：RS-232（打印、数据处理及多路控制）（选装件） 使用环境：-5℃～40℃、湿度≤95% 电源：AC 220V±10% 50Hz 功耗：55W 重量：≤4Kg 机箱类型：C型
| ZDF-5212型 ZDF-5212-Ⅲ-LH型
测量范围：1.0×105～1.0×10-8Pa 测量路数：(ZDF-5212)2路;(ZDF-5212-Ⅲ)3路 控制范围：1.0×105～1.0×10-8Pa 控制路数：4路 控制方式：点控和区域控制 控制精度：≤±1% 负载：AC 220V/3A 无感负载 响应时间：≤1s 显示方式：数码双显 模拟输出：0～5V、4～20mA（选装件） 通讯接口：RS-232（打印、数据处理及多路控制）（选装件） 使用环境：-5℃～40℃、湿度≤95% 电源：AC 220V±10% 50Hz 功耗：55W 重量：≤4Kg 机箱类型：C型 |
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ZDF-5214C型 ZDF-5214C-Ⅲ-LH型
测量范围：1.0×105～1.0×10-4Pa 测量路数：(ZDF-5214C)2路;(ZDF-5214C-Ⅲ)3路;(ZDF-5214-Ⅲ)3路 控制范围：1.0×105～1.0×10-7Pa 控制路数：4路 控制方式：点控和区域控制 控制精度：≤±1% 负载：AC 220V/3A 无感负载 响应时间：≤1s 显示方式：数码双显 模拟输出：0～5V、4～20mA（选装件） 通讯接口：RS-232（打印、数据处理及多路控制）（选装件） 使用环境：-5℃～40℃、湿度≤95% 电源：AC 220V±10% 50Hz 功耗：55W 重量：≤4Kg 机箱类型：C型 | ZDF-5214型 ZDF-5214-Ⅲ(LH)型
测量范围：1.0×105～1.0×10-7Pa 测量路数：(ZDF-5214)2路;(ZDF-5214-Ⅲ)3路 控制范围：1.0×105～1.0×10-7Pa 控制路数：4路 控制方式：点控和区域控制 控制精度：≤±1% 负载：AC 220V/3A 无感负载 响应时间：≤1s 显示方式：数码双显 模拟输出：0～5V、4～20mA（选装件） 通讯接口：RS-232（打印、数据处理及多路控制）（选装件） 使用环境：-5℃～40℃、湿度≤95% 电源：AC 220V±10% 50Hz 功耗：55W 重量：≤4Kg 机箱类型：C型 |
