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GE50A质量流量控制器

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具体成交价以合同协议为准
  • 公司名称深圳市万德泉科技有限公司
  • 品       牌
  • 型       号
  • 所  在  地
  • 厂商性质其他
  • 更新时间2023/1/13 8:26:50
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深圳市万德泉科技有限公司是一家集真空技术开发、应用与贸易于一体的专业公司。产品广泛运用于真空行业、镀膜、太阳能、半导体、科学研究、电力行业、航空航天、制造等领域。作为多家的真空设备及真空仪器供应商的代理商,我们可以为客户提供的全套真空解决方案,解决客户真空应用的难题,并且使客户的成本降到。我们代理销售的产品如下:瑞士Inficon (英福康)膜厚控制仪及探头、石英晶振片、真空计、检漏仪、残余气体分析仪、真空阀门、真空连接件。美国Agilent(安捷伦,原瓦里安)涡旋式干泵、分子泵、氦质谱检漏仪。英国Edwards (爱德华)旋片泵、涡旋干式泵、分子泵、真空规管。瑞士VAT插板阀、闸阀、蝶阀、角阀等全系列真空阀门。 日本Hitachi Metals(原Aera)质量流量控制器。美国MKS质量流量控制器。美国SRS 四级质谱残余气体分析仪。美国Keyhigh 陶瓷压电阀。韩国ONE C TECH低温冷肼、压缩机和冷媒销售美国Angstromsciences磁控溅射阴极、靶材、反应气体控制器。我们能提供维修业务的产品包括:MDC-360C/IC5/XTC2/SQC310/IC6/XTC3/等膜厚控制仪维修、inficon真空计维修,Edwards真空泵维修、inficon检漏仪维修、AERA流量计维修。
GE50A质量流量控制器MKS GE50A橡胶密封数字质量流量控制器,满量程范围从5sccm–50slm,精度为设定值的±1%、相应速度快于700毫秒、不同气体及量程间自由切换。1.5吋宽度(GM51A除外)。EtherNet用户通讯口方便地用于设置和诊断。各种模拟(0-5V或4-20mA)和数字(RS-485、DeviceNet、Profibus、EtherCAT、Modbus)通讯接口可选。市场价: 0.00价格:0.00产品描述:: 替代1179A 型号: GE50A ......
GE50A质量流量控制器 产品信息

MKS GE50A橡胶密封数字质量流量控制器,满量程范围从5sccm50slm,精度为设定值的±1%、相应速度快于700毫秒、不同气体及量程间自由切换。1.5吋宽度(GM51A除外)。EtherNet用户通讯口方便地用于设置和诊断。各种模拟(0-5V4-20mA)和数字(RS-485DeviceNetProfibusEtherCATModbus)通讯接口可选


MKS GE50A通用橡胶密封数字质量流量控制器精度为设定值的± 1%,相应速度快于500毫秒,不同气体及量程间自由切换。通过一个*的数字算法,实现了精度的实时流量控制。与通常基于PID的数字MFC相比,它由于能实现工艺气体流量的实时控制而极大提供了控制精度,具有更好的工艺腔室匹配性。

基于EtherNet 用户通讯口网络的游览界面使客户可以实时地进行控制器的设置和故障排除,从而减少了对“”MFC的替换并且无需中断工艺气体输送。

例:型号GE50A013502R6V010(代表的是气体介质是氮气,流量是500sccm,配件法兰接口是Swagelok 4VCR male,通讯接口是DeviceNet,密封材料是Viton橡胶密封)

GE50A质量流量控制器 采购系列号GE50A

用于标准的气体(SEMI Gas编号)


氮气,N2 013
氨气,NH3 029
六氟化硫,SF6 110


流量范围,SCCM满量程(相当于氮气)


5 500
10 101
20 201
50 501
100 102
200 202
500 502
1000 103
2000 203
5000 503
10000 104
20000 204
30000 304
50000 504


装配件(法兰接口)


Swagelok 4VCR male R
1/4 Swagelok S
C-Seal,(92mm port to port) C
W-Seal,(92mm port to port) H


通讯接口


Profibus 4
RS485 5
DeviceNet 6
Analog 0 to 5 VDC(9针D型) A
Analog 0 to 5VDC (15针D型) B
Analog 4 to mA(15针D型) H


密封材料


标配:Viton V
选配:Neoprene N
选配:Buna-N B
选配:Kalrez K


预留MKS的未来应用


标准 0



固化软件版本


除非另有说明,MKS会安装订货日期的固化版本软件 10




满量程流量为3位数字显示,前两位表示量程流量的有效数字,由小数点分开;第三位表示10的指数

注:其他气体可选,替代MKS 1179A质量流量控制器


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