超高分辨场发射扫描电子显微镜Regulus系列
现有机型SU8240,SU8230,SU8220及SU8010重新整合，衍生而成Regulus8240、Regulus8230、Regulus8220、Regulus8100。
"Regulus系列"继承了现有机型的观察和分析性能，配备SU8200系列的低噪音冷场发射电子枪*1，可以获得高稳定的束流。
通过优化电子光学系统，Regulus8240/8230/8220在1 kV条件下分辨率提高到0.7 nm，Regulus8100的分辨率提高到0.8 nm。
此外，为充分发挥超高分辨的能力，放大倍率也从过去的100万倍提升到200万倍*1。
Regulus8240/8230/8220/8100还完善了用户支持功能，通过此功能用户更容易理解各种复杂信号的检测原理，帮助用户充分发挥仪器的性能。
- *1
- Regulus8240/8230/8220
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特点
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规格
特点
- 沿用"SU8200系列"的冷场发射电子枪*2
- 采用电子束在Flashing后出现的高亮度稳定区域作为稳定观察的区间，使得低加速电压条件下兼备高分辨观察和分析的性能
(Regulus8240/8230/8220: 0.7 nm/1 kV、Regulus8100: 0.8 nm/1 kV) - 采用污染小、高真空样品仓
- 运用能量过滤器(选配)，可观察到多种成分对比度*2
极低着陆电压下高分辨观察
样品：金颗粒
着陆电压：10 V
超高分辨观察
样品：Pt催化剂
加速电压：30 kV
低加速电压下高分辨EDX分析
样品：Sn球
着陆电压：1.5 kV
- *2
- Regulus8240/8230/8220
规格
| 项目 | Regulus 8100 | Regulus 8220 | Regulus 8230 | Regulus 8240 | |||
|---|---|---|---|---|---|---|---|
| 二次电子分辨率 | 0.7 nm （加速电压15 kV） 0.8 nm （着陆电压1 kV）*3 | 0.6 nm（加速电压 15 kV） 0.7 nm（着陆电压 1 kV）*3 | |||||
| 着陆电压 | 0.1～2 kV | 0.01～20 kV | |||||
| 放大倍率 | 20～1,000,000倍*4 | 20～2,000,000倍*4 | |||||
| 样品台 | 样品台控制 | 3轴马达台（可选5轴马达台） | 5轴马达驱动 | ||||
| 移动范围 | X | 0～50 mm | 0～50 mm | 0～110 mm | 0～110 mm | ||
| Y | 0～50 mm | 0～50 mm | 0～110 mm | 0～80 mm | |||
| R | 360° | ||||||
| T | -5～70° | ||||||
| Z | 1.5～30 mm | 1.5～40 mm | |||||
| 再现性 | - | - | - | ±0.5 µm以下含±0.5 µm | |||
- *3
- 减速模式下观察
- *4
- 以127 mm × 95 mm底片为基准的倍率
关联产品分类
- 聚焦离子束系统 (FIB/FIB-SEM)
- TEM/SEM样品前处理装置
