主要特点：
日立研发的全自动STEM球差校正器
高稳定、高亮度的冷场发射电子枪
TEM、STEM、SEM三位一体
大面积、大固体角的无窗能谱仪
全新设计的镜筒和高压系统
全新设计的保护罩和荧光屏相机
高稳定性侧插样品杆
兼容日立的特殊样品杆和FIB系统 项目 主要参数 电子枪 冷场发射电子枪 加速电压 60-200kV TEM点分辨率 0.23nm HAADF-STEM分辨率 0.078nm 能谱 无窗SDD能谱，2 x 100mm2，固体角2.0 Sr 电子能量损失谱 Gatan GIF Quantum or Enfinium spectrometer 图像模式 TEM明场像、BF-STEM明场像、ABF-STEM环形暗场像、HAADF-STEM高角度环形暗场像、二次电子像、电子衍射花样、特征X射线像（可选）、EELS像（可选）
应用领域：
HF5000作为一款球差校正冷场发射透射电镜，其分辨率达到了亚埃级，可以实现对样品的超细微观结构的观察和分析，适用于金属、陶瓷、半导体、纳米材料等的观察。同时，HF5000的TEM、STEM、SEM三位一体功能不仅可以实现对材料内部结构的研究，也可以获得材料表面的信息。原子级分辨率的二次电子探测器可以弥补TEM和STEM无法观察样品表面的缺陷，同时相比普通的SEM又具有更高的分辨率，可以满足样品表面高分辨形貌和结构观察的需求，与TEM和STEM形成互补。全自动化的球差校正过程又大大简化了球差校正透射电镜的使用难度，提高了观察效率，尤其适合测试平台和科研中心等用户。
