一、仪器用途
107JE型测量显微镜是一种小型二维数显测量的计量
仪器,仪器主要采用透、反射照明方式,通过观察和
数显系统对精密件的几何量(长度、角度)进行观察、
分析、测量。特别适用于大规模集成电路线宽、小型
零件(如钟表零件)及其他精密件几何参数的测量。
仪器可以连接CCD进行影像测量。仪器体积小、重量
轻、可广泛应用于计量室、生产作业线以及科学研究
部门。
二、仪器规格
(一)测量范围 X:150mm;Y:100mm
(二)工作台尺寸: 355×240mm (玻璃台面尺寸:10×175mm)
(三)数显分辨率: 0.0005mm
(四)仪器的回程误差: 0.002mm
(五)仪器测量准确度: ≤(3+L/25)um(L为被测长度)
(六)仪器的质量: 32.5kg
(七)仪器外形尺寸: 420×550×600mm
(八)输入电压: AC220/50Hz ±10%(工作照明电压5V/LED)
(九)光学基本参数
物镜 | 目镜 | 总放大倍数 | 工作距离 (mm) | 视场直径 (mm) |
放大倍数 数值孔径 | 焦距(mm) | 放大倍数 | 焦距 (mm) |
4×/0.1 | 28.8 | 10× | 25 | 40× | 17.50 | 3.40 |
10×/0.25 | 15.4 | 100× | 11.60 | 1.40 |
40×0.65 | 4.4 | 400× | 0.66 | 0.35 |
(十)照明光源
1.反射照明: 5V, 3W (LED)
2.透射照明: 5V, 3W (LED)
3.斜射照明: 12V,50W (双卤钨灯)(选购件)
(十一)CCD接口
采用标准C接口、可连接CCD和数码相机进行影像测量。