原装AZBIL阿自倍尔气体流量传感器CMS0002BSUN000000

气体质量流量计
CMS9500/0002/0005/0020/0050/0200/0500高可靠性气体质量
流量计，使用了山武公司新近开发的微流量传感器，这种传感器
是感热式流量传感单元。
超小型结构、高精度传感器、高密度集成电路设计技术的结合使
这种仪表具有精度高、测量范围大，且成本低的优点。
CMS9500/0002/0005/0020/0050/0200/0500
型号
CMS9500 CMS0002 CMS0005 CMS0020 CMS0050 CMS0200 CMS0500
项目
适用气体树脂型：
空气、氮气、氩气、二氧化碳（CO2）
SUS/SUS316型:
空气、氮气、氩气、二氧化碳（CO2）、
氧气、城市煤气13A（LNG）、甲烷100%、
丙烷100%、丁烷100%
SUS/SUS316型：
空气、氮气、氩气、二氧化碳（CO2）、
氧气、城市煤气13A（LNG）、甲烷100%、
丙烷100%、丁烷100%
气体必须不含腐蚀性气体（例：氯、硫、酸等）。气体必须干燥、清洁，不含粉尘和油雾
流量范围（注1）
0～500mL/min（标状） 0～2L/min（标状） 0～5L/min（标状） 0～20L/min（标状） 0～50L/min（标状）  0～200L/min（标状） 0～500L/min（标状）
标准状态指：一个大气压、20℃时
各种气体
空气/氮气500mL/min 2L/min 5L/min 20L/min 50L/min 200L/min 500L/min
测量上限
氧气500mL/min 2L/min 5L/min 20L/min 50L/min 200L/min 500L/min
氩气500mL/min 2L/min 5L/min 20L/min 50L/min 200L/min 500L/min
（1atm，20℃时） 二氧化碳250mL/min 1L/min 3.3L/min 10L/min 25L/min 100L/min 250L/min
城市煤气13A （注3） 400mL/min 1.5L/min 4.5L/min 15L/min 40L/min 150L/min 400L/min
甲烷500mL/min 2L/min 5L/min 20L/min 50L/min 200L/min 500L/min
丙烷140mL/min 0.5L/min 1.7L/min 5L/min 14L/min 50L/min 140L/min
丁烷100mL/min 0.4L/min 1.25L/min 5L/min 12L/min 50L/min 120L/min
测量精度
树脂型： 树脂型：
（20℃，1atm时）
0.2 x＜4L/min 0.5 x＜5L/min
SUS/SUS316型: SUS/SUS316型: SUS/SUS316型:
±1%FS±1位±1%FS±1位
SUS/SUS316型: SUS/SUS316型：
5 x＜100mL/min 0.02 x＜0.4L/min 0.05 x＜1L/min
4 x 20L/min 5 x 50L/min
2 x＜20L/min 5 x＜50L/min
±1%FS±1位  ±1%FS±1位  ±1%FS±1位 
±5%RD±1位±5%RD±1位
±1%FS±1位±1%FS±1位
100 x 500mL/min 0.4 x 2L/min 1 x 5L/min
SUS/SUS316型： SUS/SUS316型：
20 x 200L/min 50 x 500L/min
±3%RD±1位 ±3%RD±1位
0.2 x＜2L/min 0.5 x＜5L/min
±3%RD±1位±3%RD±1位
±1%FS±1位±1%FS±1位
2 x 20L/min 5 x 50L/min
±3%RD±1位 ±3%RD±1位
zui小显示值1mL/min 0.01L/min 0.1L/min 1L/min
显示分辨率1mL/min 0.01L/min 0.1L/min 1L/min
操作温度0～50℃（树脂型：保证精度温度范围10～35℃）
存储温度-20～70℃
操作湿度10～90%RH（无结露）
接管尺寸树脂型和SUS型:Rc1/4 SUS型: Rc1/2
SUS316型:9/16-18UNF，Rc1/4，1/4外套螺母，1/4VCR（依型号）
SUS316型: 3/4-16UNF, Rc1/2, 1/2外套螺母,
3/8VCR （依型号）
本体材质
SUS型：SUS303和SUS316
树脂型: PBT （聚丁烯酯）
SUS316型：SUS316
SUS型: SUS303和SUS316
SUS316型: SUS316
机壳材料
SUS/SUS316型：聚碳酸脂
树脂型：ABS
操作压力
SUS/SUS316型：-0.07～＋1.0MPa 　
耐压
SUS/SUS316型：1.5MPa
安装位置水平安装。流向：左→右 　
供电电压12～24VDC
采样周期
100ms±10ms
树脂型: 100ms±20ms
100ms±10ms
SUS/SUS316 型: 100ms±10ms
输出信号（瞬时流量输出） 0～5VDC（允许负载阻抗大于10KΩ）
当输出超过测量上*zui大输出5.7V。
事件输出集电极开路输出：2点
事件功能瞬时流量上／下限、累计流量到设定值、反向流量切除、累计脉冲输出（仅事件2），流量信号串行输出（仅事件1）
外部接点输入用于累计流量复位：1点（无电压接点输入）
电气连接通过连接器（另购）
显示4位7段LED显示，瞬时流量/累计流量切换显示
重量SUS/SUS316型：约 800g 树脂型：约280g 　SUS/SUS316型：
SUS/SUS316型：约 800g 约 1400g
SUS/SUS316型:
空气、氮气、氩气、二氧化碳（CO2）、
城市煤气13A（LNG）、甲烷100%、丙烷100%、
丁烷100%
（注2）
±3%RD±1位
·使用说明书资料号：CP-SP-1114E
注（1）：流量范围以空气流量标定。该产品具有切换气体种类的功能，用户可通过按键选择被测气体种类，该仪表输出信号（0～5V）的标尺也可改变。
注（2）：在表中没有列出的气体种类有些也可测量，通过改变气体的导热系数（CF）实现，详细信息请向山武公司询问。
注（3）：城市煤气13A（LNG）的成分为含甲烷（CH4）88%，如果天然气成分与13A不同，请向山武公司询问。
SUS/SUS316型：聚碳酸脂
树脂型：0～0.5MPa
SUS/SUS316型：-0.07～＋1.0MPa
树脂型：0.7MPa
SUS/SUS316型：1.5MPa
SUS/SUS316型：1.5MPa
SUS/SUS316型：聚碳酸脂
SUS/SUS316型：-0.07～＋1.0MPa
SUS型：SUS303和SUS316
SUS316型：SUS316
约 2000g
SUS/SUS316型：
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TOKYO JAPAN
37 91
69.1
32
17
（48.7）
9/16-18UNF 连接型 （标准）
91
69.1
32
MADE IN JAPAN
Rc1/4 连接型 （可选）
23.5 23.5
（138）
HEX21
MADE IN JAPAN
（142.4）
（25.7） （25.7）
HEX9/16
1/4外套螺母连接型（可选）
MADE IN JAPAN
（138.8）
（23.9） （23.9）
1/4VCR 连接型 （可选）
MADE IN JAPAN
37
17
（48.7）
TOKYO JAPAN
50 98.6
82
45
23
3/4-16UNF 连接型 （标准）
98.6
82.1
Rc1/2 连接型 （可选）
25 25
（148.6）
HEX26
MADE IN JAPAN
MADE IN JAPAN
（160）
（30.7） （30.7）
HEX7/8
1/2外套螺母连接型（可选）
MADE IN JAPAN
（62）
50
23.2
45
（161.6）
（31.5） （31.5）
3/8VCR 连接型 （可选）
MADE IN JAPAN
29.5
59
（76）
60
98.6
16.4 16.4
96.1
（25） （25）
（31.5） （31.5）