本产品是采用MEMS技术将内窥镜探头更加小型化，配合光学相干层析成像（OCT）技术高分辨率的断面成像能力，可以方便进入体内脏复杂组织结构里进行组织断层实时观察，...

微奥MEMS光学探头采用光学扫描微镜技术，可与多种光学成像技术结合，应用于各种狭小空间，进行实时、快速、高分辨的三维成像

微奥MEMS微干涉模块是利用MEMS微镜设计的一款迈克尔逊干涉仪，可以实现各种光干涉

微奥MEMS-3D手持扫描仪是基于,MEMS微振镜扫描模块技术的应用产品，主要用于对物体空间外形和结构进行扫描，以获得物体表面的空间坐标

微奥HCE系列光谱仪以反射式为主要采样方式，可测量颗粒与粉末状原材料中化学成分的定性与定量分析，对原料的种类及成分含量进行检测

MEMS-FTS傅里叶变换近红外光谱仪，采用微奥自主研发的电热MEMS芯片为核心部件，相比于静电式MEMS微镜光谱仪和光栅式微型光谱仪，电热式MEMS微镜光谱仪...

微奥近红外手持光谱仪是基于傅里叶变换原理开发的一款光谱分析产品，其核心是使用自主研发的大位移MEMS微镜芯片，具有低功耗、低成本、体积小和集成度高等显著优势

MEMS多维度微动平台是利用MEMS执行器驱动平台以及所载物体在多个维度上实现移动

微奥MEMS阵列芯片分为一维线阵和二维矩阵两种，目前已开发的一维线阵微镜包括1*20的WSS波长选择开关，二维微镜矩阵包括8*8和20*20大阵列光交叉互联（O...

该系列芯片有共振扫描和准静态偏转两种工作模式，准静态模式可实现0~±1~±6°不同角度机械偏转

该系列芯片有共振扫描和准静态偏转两种工作模式，准静态模式可实现0~±1~±6°不同角度机械偏转

该系列芯片有共振扫描和准静态偏转两种工作模式，共振扫描可实现±15°机械偏转，准静态模式可实现6.5°机械偏转