高效转子型线设计，真空度高；

· 泵腔内无润滑油，实现高洁净真空；

· 螺距转子加工精度高，实现低噪音、高寿命；

· 可抽除可凝性蒸汽、含有灰尘、腐蚀性等多种气体，不会滞留在泵腔内，适用于恶劣的应用场合；

· 特殊轴承设计，振动极低，并且拥有的启动可靠性，尤其适合苛刻的工艺制程；

· 密封方式，具有很强的密封性能及超长的使用寿命性；

· 特殊电机，提高运行可靠性，延长使用寿命并降低维护成本；

· 智能控制系统设计，使用智能编程可实现面板按钮一键启停 , 实现远程控制和监控功能；

· 结构设计紧凑，零部件少、易维护。

产品应用

冶金

真空钎焊、电子束焊接、氮碳共渗、低压渗氮、低压渗碳、化学气相浸渍、烧结、金属注射成型、精密熔模铸造、电渣重熔、真空感应熔炼、真空电弧精炼、钢液脱气等。

镀膜

卷绕镀膜、硬质镀膜 (CVD/DLC)、表面活化、等离子喷涂、玻璃镀膜等。

干燥

冷冻干燥、套管填充、变压器干燥、管道干燥、电容器干燥、锂电池干燥等。

真空室排气

气体回收 / 循环、真空室抽空等。

等离子工艺

等离子焊接、离子渗碳、等离子蚀刻及清理、等离子清洗等。

太阳能光伏

单晶硅提拉、PV 层压、LED 制造等。

其它

贴合机设备等。