三叶罗茨真空泵概况

　　罗茨真空泵具有二个三叶型转子，通过一对同步反向旋转高精度齿轮驱动，右图为转子在泵腔内旋转120°，完成一次吸、排气的过程。三叶转子采用渐开线型线，转动时互相不接触并保持恒定间隙。可与多种前级泵配套，采用风冷或水冷方式和多种密封形式，满足不同工艺和工况要求。

　　比传统二叶型罗茨泵在抽气效率、大允许压差、温升、振动、噪声等关键性能指标上都具有明显的技术优势。三叶转子采用高精度齿轮传动和精密轴承支承，噪声低、运转更加平稳，在低入口压力下仍具有较大抽气速率。

主要特点

●转速高、容积率高、温升低、振动小。

●结构简单、可靠性好，操作、维护方便。

●转子被锁紧，无轴向串动现象、故障率更低。

●所有平面静密封采用O型圈密封，可以反复拆装。

●主轴采用机械密封，确保泵腔无油和长期无泄漏。

●端盖密封可采用机械密封、骨架、活塞环和迷宫密封等多种形式。

应用范围

　　三叶不能单独使用，必须与前级真空泵配套使用，配置不同类别的前级泵后，各项性能指标会有所不同。主要应用于需要大抽速和粗、中真空(103~10-2Pa)的真空系统，例如真空镀膜、真空焊接炉、真空热处理炉、大型空间模拟试验、微电子及集成电路、灯管及灯泡制造、真空包装、集中抽气系统、各类化工处理、真空脱汽、真空脱水、真空冷冻干噪、真空蒸馏。

规格参数

注：上表各性能是在配用推荐前级泵的条件下获得的，若视情况选用不同的前级泵，其主要性能指标会有所变化。抽气速率系指在配用推荐前级泵的条件下，的入口压力在67pa~2.67pa范围内所测得的zui大抽气速率。(见性能曲线)极限压力系指在配用推荐前级泵的条件下，不带任何附加容器、泵口密闭不进气，经过充分抽气后用压缩式真空计在泵进气口处测得的稳定的空气分压力的zui低值。