直播回放
直播回放
我国研发出新型气体传感器制备技术
【物流设备网 新品动态】近日，复旦大学微电子学院卢红亮教授*的团队*结合硬模板法、原子层沉积技术和水热工艺，在低功耗MEMS器件上原位合成了单层有序SnO2纳米碗支化ZnO纳米线的多级异质复合纳米材料，并以此作为气体传感器，对浓度低至1ppm的硫化氢实现了超灵敏和高选择性的探测。
据悉，目前常见的传感器制备技术，是将纳米传感材料印刷或滴涂到陶瓷管或MEMS器件上，*地限制了传感器的可靠性和可重复性。因此，一种能够将纳米传感材料和MEMS微加热基底无缝集成的制备技术对于开发高稳定性和低功耗的高性能气体传感器至关重要。
此次，研究人员研究设计的MEMS式单层有序SnO2纳米碗支化ZnO纳米线器件在250oC的工作温度下，对1ppm硫化氢的响应(Ra/Rg)高达6.24，其响应变化率(5.24)约为单层有序SnO2纳米碗器件的2.6倍，同时具有较快的响应/恢复速度。
同时，研究也证明该MEMS式单层有序SnO2纳米碗支化ZnO纳米线器件，具有较好的*稳定性和可重复性。多级异质结构不仅有效增加了材料的比表面积，提升了材料的气体吸附能力，同时异质结提高了材料的气敏响应能力。
据了解，研究团队的传感材料原位制备于MEMS器件上，还具有低功耗和可集成化的优势，为气体监测领域开发高灵敏度、高稳定性的气体传感器提供了技术支持。
目前，相关成果以发表在期刊Microsystems & Nanoengineering上，此期刊由*电子学研究所与原Nature出版集团合作出版，是原Nature出版集团合作出版的*本工程类期刊。
原标题：我国研发出新型气体传感器制备技术
版权与免责声明：1.凡本网注明“来源：物流技术网”的所有作品，均为浙江兴旺宝明通网络有限公司-兴旺宝合法拥有版权或有权使用的作品，未经本网授权不得转载、摘编或利用其它方式使用上述作品。已经本网授权使用作品的，应在授权范围内使用，并注明“来源：物流技术网”。违反上述声明者，本网将追究其相关法律责任。 2.本网转载并注明自其它来源（非物流技术网）的作品，目的在于传递更多信息，并不代表本网赞同其观点或和对其真实性负责，不承担此类作品侵权行为的直接责任及连带责任。其他媒体、网站或个人从本网转载时，必须保留本网注明的作品第一来源，并自负版权等法律责任。 3.如涉及作品内容、版权等问题，请在作品发表之日起一周内与本网联系，否则视为放弃相关权利。
相关新闻
-
福莱新材向全球灵巧手领军企业灵心巧手累计交付超3万套触觉传感器，本次累计交付超3万套的触觉传感器，主要搭载于灵心巧手的明星产品——Linker Hand O6工业级灵巧手。本次合作成为双方合作交付又一里程碑，标志着双方战略合作迈向规模化落地新阶段。- 2026-09-03 10:52:16
- 15897
-
2025年国内传感器并购市场呈现“领域集中、逻辑清晰、区域集聚”的特点，其中汽车传感器成为并购主战场，技术补位型交易频发，长三角与珠三角形成核心并购集群，全方位推动国产传感器产业从“规模扩张”向“质量提升”转型。- 2026-04-07 13:49:53
- 18643
-
随着人形机器人量产进程提速、应用场景持续拓宽，传感器行业彻底打破传统应用边界，迎来市场规模扩容、技术迭代加速、国产替代深化的全方位机遇，成为高端传感器领域最具增长潜力的核心增量赛道。- 2026-03-17 11:37:20
- 18085
昵称 验证码 请输入正确验证码
所有评论仅代表网友意见，与本站立场无关