激光烧蚀进样是80 年代末、90 年代初形成的一种新型的固体分析技术。当聚集的激光束以足够的能量耦合在样品表面时,样品表面的物质被熔融、溅射和蒸发, 形成的样品蒸气与细微颗粒由载气传输至等离子体中被原子化、离子化，为质谱、光谱等仪器提供一种新型的固体进样方式。
仪器特点：
激光烧蚀原位进样系统具有原位、实时、快速的分析优势和灵敏度高、空间分辨率<10um的特点，对样品微区分析、材料表面的元素分布分析、薄膜或镀层的深度分析等方面都具有独特的优势；固体样品不需分解，可以直接测定，避免了样品前处理过程中引入的污染和难溶样品溶解困难的问题。
仪器参数：
一.激光光源及光路系统
• 激光器类型：灯泵浦的固体调Q激光器
• 波长：213nm
• 频率：（1、2、5、10）Hz，可调
• 输出能量：>=9mJ@213nm
• 光斑大小：4μm~110μm,12个光斑尺寸可调，计算机控制
二.样品控制扫描系统
• 二维电机行程：85mm*85mm
• 定位分辨率：1μm
• 定位精度：5μm
• 重复定位精度：3μm
三．样品载带及气路控制
• 样品仓：密闭腔室
• 气路控制：计算机控制，电磁阀切换
• 流量控制：MFC计算机控制
四.样品成像系统
• 视场范围：0.65*0.53mm
• 放大倍数：10×
• 分辨率：1280x1024
