STK-6050 落地式高级自动晶圆减薄贴膜机特点： |
4” - 8”晶圆适用 |
设计的滚轮贴膜 |
自动胶膜进给及贴膜 |
手动晶圆上下料 |
自动切割胶膜，省力 |
蓝膜、UV 胶膜可选 |
PLC+触摸屏 |
配置光帘保护功能，和紧急停机按钮 |
三色灯塔和蜂鸣器用于操作状态监控 |
STK-6050 落地式高级自动晶圆减薄贴膜机性能： |
晶圆收益 | ≥99.9% |
贴膜品质 | 没有气泡（不包括灰尘颗粒气泡） |
Cycle Time： | ≤ 45 秒（不包含上料/下料时 间） |
MTBF | >168小时 |
MTTR | <1小时 |
停机时间 | <3% |
更换产品时间： | ≤ 10 分钟 |
STK-6050 落地式高级自动晶圆减薄贴膜机参数： |
晶圆直径： | 4”- 8”晶圆 |
晶圆厚度： | 100~750 微米 |
晶圆种类： | 硅, 砷化镓或其它材料/单平边,双平边,V 型缺口； |
膜种类： | 蓝膜或者 UV 膜 |
贴膜方法： | 滚轮贴膜 |
晶圆台盘： | 接触式晶圆台盘 |
晶圆台盘加热： | 可达 120℃ (对应接触式台盘，可 选 |
晶圆放置精度： | X-Y: +/- 0.5 毫米； Θ : +/- 0.5°； |
装卸方式： | 手动晶圆放置与取出；晶圆在位置检测； |
防静电控制： | 去离子风扇 |
切割系统： | 自动刀 |
控制单元： | 基于 PLC 控制，10.4”触摸屏 |
电源电压： | 单相交流电 220V,10A； |
压缩空气： | 60 PSI 清洁干燥压缩空气,流量每分钟 2.5 立方英尺 |
灯塔： | 三色灯塔和蜂鸣器，用于操作状态监测 |
安全： | 配置安全光帘和紧急停机开关； |
体积： | 950 毫米(宽)*1300 毫米(深)*1800 毫米(高) |
净重： | 300 公斤 |
