热式流量控制器（Mass Flow Controller）是基于业内先进的流量传感器芯片技术，结合高速采样处理技术和数字补偿算法，所开发的一款智能化、高精度可进行准确的质量流量控制的气体质量流量控制器产品。该产品配备有电磁比例阀、316L不锈钢气路座、高精度微机电流量芯片等，具有精度高、响应速度快、稳定性好等特点。操作使用方便，可任意位置安装，广泛用于电子工艺设备、真空镀膜、石油化工、冶金、制药、光纤熔炼、分析测量仪器、制气配气等行业。输出信号可选择：4-20mA和1-5V模拟信号，以及RS485等数字通信方式。
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热式流量控制器产品特点 Feature
温度和压力不敏感
优越的零点稳定性
超快的响应速度
良好的重复性和再现性
多种信号输出方式
配备进口比例电磁阀
热式流量控制器?产品规格
参数说明 | |
介质要求 | 洁净干燥无腐蚀性气体 |
介质种类 | 空气、氮气、氩气、二氧化碳、氦气、氢气、甲烷、氧气等 |
量 程 | (0～10,20,30,50,100,200,300,500) SCCM (0～1,2,3,5,10) SLM |
精 度 | 读数误差的 1%或满量程误差的 0.8%，二者取最大值 |
分辨率 | 至低0.01SCCM |
响应时间 | ≤0.7S |
环境条件 | |
介质温度 | 0~50℃ |
工作温度 | -20~70℃ |
工作湿度 | 10%~90%RH（无结冰，无凝露） |
工作压力 | 0~1MPa |
储存温度 | -20~85℃ |
电气参数 | |
供电电压 | DC24V，纹波 ≤50mV |
功 耗 | 2.4W |
启动时间 | <1s<> |
预热时间 | <10ms<> |
通信接口 模拟信号（电流、电压） | |
接口类型 | D-SUB 9针 |
电流信号 | 4-20mA (线性对应量程) |
电压信号 | 1-5V (线性对应量程) |
数字信号（RS485） | |
接口类型 | RJ45、D-SUB 9针 |
通信速率 | 4800,9600(默认),14400,19200,38400,56000,57600,115200, 128000,230400,256000,460800,500000（可通过指令或者上位机修改） |
协 议 | RS485（默认Modbus-RTU，可定制私有协议） |
设备地址 | 1(默认)-250(可通过指令或者上位机修改) |
大节点数 | 250 |
机械参数 | |
接头类型 | 卡套：8mm、12mm、 3/8 inch，快插：6mm，8mm，其它可选 |
主体材质 | 底座：316L不锈钢，外壳：碳钢 |
密封材质 | FKM氟橡胶 |
重量 | 0.75kg |
尺寸图 Dimension
安全使用
产品用于有害气体或爆炸性气体时，须严格按照产品使用说明或咨询公司技术人员。有关产品应用的新信息，请与厂家联系索取或访问公司网站。强腐蚀性或氟化物气体可能影响产品正常工作，甚至对产品造成毁损。产品经过密封处理并在装箱前进行过防漏试验，在高压下使用必须按照产品使用说明的限制，否则会导致泄漏及安全问题。
注意：未经公司许可，任意改动或不当使用本产品可导致不可预见的损坏、人员伤害及其它有害后果，公司将不负任何责任。
产品保修
产品必须在说明书规定的正常工作条件下，严格按照正确的方法安装、使用并维护保养。产品质量保证期，从发货之日起提供365天免费保修。维修或更换的产品，保修期为 90 天或延续原保修期（以更长者为准）。
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1）产品被改变、改装、处于说明书规定的(或之外的)不正常环境及其它任何可被视为非正常使用的情况；
2）非本公司原装产品。
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