1. 环境控制功能（大气，真空，液体，温控等）
AFM5300E能够实现高真空的测试环境，减小样品表面吸附水对测试的影响，实现准确的物理特性测量。 真空环境下可以实现更大范围的温度控制。（*利3857581号、*利3926638号）
●大气中 ●液体中 ●真空中 ●特s气氛（流量控制）
●温度控制 加热・冷却(-120～300℃) 高温(室温～800℃)
●湿度控制(0～80%)
2. 简便操作（综合型Holder Flange）
通过采用『综合型Holder Flange开合功能』，样品和扫描器更換更为方便的同时，免去了以往环境型SPM的样品更換后的所需的光轴调整。 也省去测试模式切换时的支架更換环节。
3. 高性能
采用了『Swing Cancel功能』，减轻了样品的浮动，降低了漂移。提高了纳米分析性能，提升了可信度。
4. 通过减轻表面吸附水的影响，提高了电气性能的检测精度
真空环境下减轻样品表面吸附的水分和污染物的影响，因而实现高分辨高灵敏的电学性能分析。
技术参数
| 分辨率 | 原子相 |
|---|---|
| 样品尺寸 | 20 mmφ、厚度10 mm (用配件厚度扩展至20 mm) |
| 样品移动范围 | X-Y stage 5 mm |
| 扫描范围 | 标准： 20 µm□/1.5 µmH • 150 µm□/5 µmH • 15 µm□/1.5 µmH（闭环差控制） 定位显微镜 • 简易显微镜（×200倍） • 光学显微镜（×1000倍） • 变焦显微镜（×700倍） • 金相显微镜（装有微分干渉）（×2000倍） |
| 检测功能 |
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| 选配件 | 高温加热样品台 加热冷却兼用样品台 冷却真空 温度控制 |
