赛默飞增强型锁相热发射显微镜在半导体领域的应用
♦ ELITE (增强型锁相热发射显微镜) ，锁相热发射显微镜如今已成为高等电性故障分析流程中的技术手段。有缺陷的或表现不佳的半导体器件...
- JEM-3200FS场发射电子显微镜配备了加速电压为300kV的场发射电子枪（FEG）和镜筒内置式Ω型能量过滤器，能为广泛的研究领域提供各种全新的解决方案。
- 镜筒内置式Ω型能量过滤器(omega 过滤器)
- 镜筒内置式Ω型能量过滤器内置于成像透镜系统，能容易地获得能量过滤像和能量损失谱，同时还能获得与传统电子显微镜同等的放大倍率范围。此外、Ω型过滤器的电子光学系统在设计上地减少了图像畸变，出厂前还将剩余一点的畸变做了最后的修正。JEM-3200FS还采用了高灵敏度的相机系统及图像处理系统（选配件），可以构建元素面分布系统及能量损失谱系统。
- 新型控制系统
- 电子枪、电子光学系统、测角台、抽真空系统等电子显微镜基本功能的系统化，实现了高稳定、高性能的控制系统。图像画面和用户界面采用Windows ®*1，可以进行编程操作和附件的集中控制。
- 新型测角台
- 系统化的新型测角台内置压电陶瓷驱动机构，使高倍率下的样品移动更加精确。*2.
- *1 : 注意事项：Windows是微软公司在美国和其他国家的注册商标。
*2 : 仅有压电元件包括在基本单元中，压电元件的电源为选配件。
