专y扫描透射显微镜HD-2700，配备了与deguo CEOS GmbH公司共同开发的球差校正仪，显zhu提高了扫描透射电子显微镜的性能，更适合*级纳米技术研究。由于球差校正系统校正了限制电子显微镜的性能的球差，使其与标准型号显微镜相比，分辨率提高了1.5倍，同时，探针电流提高了10倍。*近，该显微镜还配备了高分辨率镜头和冷场发射电子枪，进一步提高了图像分辨率和电子束能量分辨率。同时，该型号系列还增加了一款不带球差校正的主机配置，可以以后加配球差校正进行升级。
高分辨率扫描透射电子显微镜成像
·HAADF-STEM图像0.136 nm，FFT图像0.105 nm(高分辨率镜头*)
·HAADF-STEM图像0.144 nm(标准镜头)
·明场扫描透射电子显微镜图像0.204 nm(w/o球差校正仪)
高速，高灵敏度能谱分析：探针电流×10倍
·元素面分布更迅速及时
·低浓度元素检测
操作简化
·自动图像对中功能
从样品制备到观察分析实现无缝连接
·样品杆与日立聚焦离子束系统兼容
配有各种选购件可执行各种评估和分析操作
·同时获取和显示SE&BF, SE&DF, BF&DF, DF/EDX面分布*和DF/EELS面分布*图像。
·低剂量功能*(使样品的损伤和污染程度降至*低)
·高精度放大校准和测量*
·实时衍射单元*(同时观察暗场-扫描透射电子显微镜图像和衍射图案)
·采用三维微型柱旋转样品杆(360度旋转)*，具有自动倾斜图像获取功能。
·ELV-3000即时元素面分布系统*(同时获取暗场-扫描透射电子显微镜图像)
技术参数
| 项目 | 描述 | ||
|---|---|---|---|
| 图像分辨率 | w/o球差校正仪 | 保证 0.204 nm(当放大倍数为4,000,000时) | |
| w球差校正仪 | 保证 0.144 nm(当放大倍数为7,000,000时)(标准镜头) | ||
| 保证 0.136 nm(HAADF图像) 保证 0.105 nm(通过FFT)(当放大倍数为7,000,000时)(高分辨率镜头*) | |||
| 放大倍数 | 100倍 至 10,000,000倍 | ||
| 加速电压 | 200 kV, 120 kV * | ||
| 成像信号 | 明场扫描透射电子显微镜：相衬图像(TE图像) 暗场扫描透射电子显微镜：原子序数衬度图像(Z衬度图像) 二次电子图像(SE图像) 电子衍射* 特征X射线分析和面分布(能谱分析)* 电子能量损失谱分析和面分布(EV3000)* | ||
| 电子光学系统 | 电子源 | 肖特基发射电子源 | |
| 冷场致发射器* | |||
| 照明透镜系统 | 2-段聚光镜镜头 | ||
| 球差校正仪* | 六极镜头设计 | ||
| 扫描线圈 | 2-段式电磁感应线圈 | ||
| 原子序数衬度收集角控制 | 投影镜设计 | ||
| 电磁图像位移 | ±1 µm | ||
| 试片镜台 | 样品移动 | X/Y轴 = ±1 mm, Z轴 = ±0.4 mm | |
| 样品倾斜 | 单轴-倾斜样品杆：±30°(标准镜头), ±18°(高分辨率镜头*) | ||
| 真空系统 | 3个离子泵，1个TMP | ||
| 极x真空 | 10-8 Pa(电子枪), 10-5 Pa(样品室) | ||
| 图像显示 | 个人电脑／操作系统 | PC/AT兼容, Windows® XP | |
| 监视器 | 19-inch液晶显示器面板 | ||
| 图像帧尺寸 | 640 × 480, 1,280 × 960, 2,560 × 1,920 象素 | ||
| 扫描速度 | 快扫，慢扫(0.5至320秒/帧) | ||
| 自动数据显示 | 记录序号，加速电压，下标尺，日期，时间 | ||
