PCE-6V小型等离子清洗机集成了RF等离子体发生技术、计算机控制技术、软件编程技术,采用气体作为清洗介质,有效地避免了因液体清洗介质对被清洗物带来的二次污染。工作时外接一台真空泵,清洗腔内的等离子体轻柔冲刷被清洗物的表面,可短时间内清洗掉有机污染物,清洗程度可达到分子级。另外,其样品台可选配加热功能,可加负偏压,用以实现离子蚀刻。此外,其可在特定条件下根据需要改变某些材料表面的性能。
性能指标和基本配置 |
主要特点 | ● 采用气体作为清洗介质,避免了因液体清洗介质对被清洗物带来的二次污染。 ● 可短时间内清洗掉有机污染物。 ● 清洗程度可达到分子级。 ● 可在特定条件下根据需要改变某些材料表面的性能。 ● 清洗过程中的辉光放电可对某些特殊用途的材料加强粘附性、相容性和浸润性,并可消毒和杀菌。 ● 样品台可选配加热功能,可加负偏压,用以实现离子蚀刻。 ● 广泛应用于光学、光电子学、电子学、材料科学、生命科学、高分子科学、生物医学、微观流体学等领域。 |
参数 | ● 电压:AC220V 10A ● 消耗功率:<500W(包括真空泵) ● RF电源:输出功率100W,输出频率13.56MHz ● 腔体:Φ190mm×98mm ● 石英管:Φ180mm×55mm,壁厚7mm ● 内腔:Φ165mm×55mm ● 清洗电极:Φ120mm ● 样品台:Φ150mm,有效尺寸Φ140mm ● 样品台与电极间距:15mm-50mm ● 可调抽气管:Φ12mm ● 极限真空度:0.1Pa ● 工作真空度:60Pa-500Pa ● 气路数量:2路(选装) ● 流量控制器数量:1、2 ● 流量显示仪:2通道 ● 气路接口:Φ6mm ● 加热样品台:Φ140mm,加热样品温度RT-600℃±1℃(选装) ● 冷却水压力:0.2KPa-0.4KPa ● 工作环境:温度5℃-35℃,湿度<80%(相对湿度)不结露,海拔高度0-2000m |
产品规格 | ● 尺寸:245mm×235mm×460mm(不含真空泵) ● 重量:20kg(不含真空泵) |
可选配置 | ● 加热样品台 ● 流量控制器(量程10、50、100,最多可增加2个通道) |
保修期 | 一年保修,终身技术支持。 特别提示: 1.耗材部分如加热元件,石英管,样品坩埚等不包含在内。 2.因使用腐蚀性气体和酸性气体造成的损害不在保修范围内。 点击查看售后服务承诺书。 |
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