HPG400 大气压至高真空真空计
INFICON 高压热电离皮拉尼HPG400型真空计
将高压热电离技术与皮拉尼传感器整合在一个单个紧凑经济的装置中，可测量 2×10-6 毫巴至大气压（1.5×10-6 托至大气压）范围内的压力。 HPG400
型真空计为精确的溅射过程压力控制提供重复测量并再现测量数据。
益处
- HPG400 可节省成本和工具空间，降低真空系统安装与设置的复杂性
- 高压热电离真空计可以准确可靠地测量 1×10-5 … 1 毫巴范围内的压力，进而改善过程控制
- 用户可选的热离子发射在 5×10-2 至 1 毫巴之间启动
- 皮拉尼联锁保护热丝，防止过早烧毁
- 备有可选的图形显示屏和现场总线接口
- 高真空皮拉尼自动调节，减少操作员干预
- RoHS 合规
典型应用
- 半导体制造、电子和媒介产业中的溅射应用
- 工业镀膜
- 低真空和高真空范围内的一般真空测量和控制
零件号
| HPG400 | |
|---|---|
| 零件号 | 明细 |
| 353-520 | 皮拉尼真空计 |
| 354-486 | HPG400 Spare meas. system DN 25 ISO-KF |
| 353-521 | HPG400 HP Pirani Gauge; DN 25 ISO-KF |
| 353-522 | HPG400 HP Pirani Gauge; DN 40 CF-F |
| 353-523 | HPG400 HP Pirani Gauge; DN 40 CF-F |
| 353-525 | HPG400-SP HP Pirani Gauge; DN25ISO-KF |
| 353-526 | HPG400-SP PBus，DN 40 CF-F |
| 353-527 | HPG400-SD HP Pirani Gauge; DN25ISO-KF |
| 353-528 | HPG400-SD DNet DN 40 CF-F |
规格
类型 HPG400 测量范围（空气，N2） mbarTorr 2×10-6 … 1000 精度 10-5 … 1 毫巴 % of reading ±15 (1) 可重复性 10-5 … 10-1 毫巴 % of reading 2 10-1 … 100 毫巴 % of reading 30 热离子发射，可选： 选购件 1 mbar 1 选购件 2 mbar 5×10-1 选购件 3 mbar 2×10-1 选购件 4 mbar 1×10-1 选购件 5 mbar 5×10-2 压力， bar (absolute) 2 温度 运行（环境） °C 0 … +50 贮存 °C -20 … +70 在法兰处烘烤 °C 80 移除烘烤电子设备 °C 150 电源电压 V (dc)A (dc) 20 … 28 输出信号模拟 输出信号 V 0 … +10.2 测量范围热阴极 V 1.5 … 7.5 测量范围皮拉尼 V 8.5 … 9.75 电压比压强热阴极 volts per decade 1 电压与压强皮拉尼 volts per decade 0.25 错误信号热阴极 V 0.3 错误信号皮拉尼 V 0.5 最小负载电阻 kΩ 10 接口（数字）(2) RS232C 电气连接 D-Sub, 15-pin, male 电缆长度， (3) m (ft.) 100 (330) 暴露于真空的材料 Yt2O3, Ir, Pt, Mo, Cu, W, NiFe, NiCr, stainless steel, glass 内部容积 KF / CF cm³ (in.³) 20 (1.2) / 30 (1.8) 重量 KF / CF g 430 / 695 保护等级 IP30 DeviceNet™ 协议 DeviceNet™, group 2 slave only 数据率开关 kBaud 125, 250, 500 or network programmable 电缆长度 125 kbps m (ft.) 500 (1650) 电缆长度 250 kbps m (ft.) 250 (825) 电缆长度 500 kbps m (ft.) 100 (330) MAC ID 2 switches (address 00 - 63) or network programmable 网络规模 up to 64 nodes per segment 数字功能 read pressure, select units: Torr, mbar, Pa; Pirani full scale adjust, monitor gauge status, safe state allows definition of behavior in case of error, detailed alarm and warning information 模拟功能 0 … 10 V analog output pressure indication, two setpoint relays A + B 可视通信指示器 LED network status (green / red) ; LED module status (green / red) 技术规格 DeviceNet™ "Vacuum Gauge Device Profile" 设备类型 ''CG'' for combination gauge I / O 从属传讯 polling only 设定点继电器： 设定点数量 2 设定点继电器： 范围 mbar 2×10-6 … 100 设定点继电器： 继电器触点 n.o., potential free 设定点继电器： 滞后 % of reading 10 设定点继电器： 触点额定值 V (dc)A (dc) 60 DeviceNet™ 电源电压 V (dc)A (dc) 11 … 25 真空计电源电压 V (dc) 20 … 28 DeviceNet™ 连接器 Microstyle, 5-pin HPG（模拟输出、电源电压、设定点）连接器 D-Sub, 15-pin, male Profibus DP 波特率 kBaudMbaud 9.6 / 19.2 / 93.75 / 187.5 / 500 地址 2 switches (address 00 - 127) or network programmable 数字功能 read pressure, select units: Torr, mbar, Pa; Pirani full scale adjust, monitor gauge status, safe state allows definition of behavior in case of error, detailed alarm and warning information 模拟功能 0 … 10 V analog output pressure indication, two setpoint relays A + B 设定点继电器： 设定点数量 2 设定点继电器： 范围 mbar 2×10-6 … 100 设定点继电器： 继电器触点 n.o., potential free 设定点继电器： 滞后 % of reading 10 设定点继电器： 触点额定值 V (dc)A (dc) 60 Profibus DP 连接器 D-Sub, 9-pin, female HPG（模拟输出、电源电压、设定点）连接器 D-Sub, 15-pin, male
(1) 精度从 10-5 毫巴至所选热离子排放值
(2) 同时使用 RS232C 或 VGC40x 系列控制器，不允许使用现场总线
(3) 适用于 RS232C 运行 <30m
零件号
HPG400 零件号 明细 353-520 皮拉尼真空计 354-486 HPG400 Spare meas. system DN 25 ISO-KF 353-521 HPG400 HP Pirani Gauge; DN 25 ISO-KF 353-522 HPG400 HP Pirani Gauge; DN 40 CF-F 353-523 HPG400 HP Pirani Gauge; DN 40 CF-F 353-525 HPG400-SP HP Pirani Gauge; DN25ISO-KF 353-526 HPG400-SP PBus，DN 40 CF-F 353-527 HPG400-SD HP Pirani Gauge; DN25ISO-KF 353-528 HPG400-SD DNet DN 40 CF-F
附件
HPG400 零件号 明细 211-113 中心圈 with baffle DN 25 KF 353-511 BPG400 24V电源 357-499 Baffle HPG (10 pieces)
备件
HPG400 零件号 明细 354-487 HPG400 备用传感器 354-488 HPG400 Spare meas. system DN 40 CF-F
数据表
- HPG400 DE (283 kB)
- HPG400 EN (282 kB)
- HPG400 ES (283 kB)
- HPG400 JA (409 kB)
- HPG400 KO (333 kB)
- HPG400 ZH (411 kB)
手册
- Hot Ion gauge brochure (2 MB)
手册
- TINA31E1_Operating manual_long (1 MB)
- TIMA31E1_Operating manual_short (307 kB)
- TIMA32E1_Operating manual for SD_SP_short (417 kB)
- TIRA03E1_Communication Protocol for DeviceNet (323 kB)
- TIRA36E1_Communication Protocol for ProfiBus (404 kB)
三维步骤文件
- 353-520 HPG400 without LCD (445 kB)
- 353-521 HPG400 without LCD (461 kB)
- 353-525 HPG400-SP with Profibus DP (467 kB)
- 353-527 HPG400-SD with DeviceNet (461 kB)
- 353-522 HPG400 without LCD (452 kB)
- 353-523 HPG400 with LCD (459 kB)
- 353-526 HPG with Profibus DP (470 kB)
- 353-528 HPG400-SD with DeviceNet (464 kB)
- 354-487 HPG Replacment Sensor 25 ISO-KF (31 kB)
- 354-488 HPG Replacment Sensor 25 ISO-KF (45 kB)
其他文件
- HPG400-int.eds (33 kB)
- HPG400-float.eds (33 kB)
- HPG400_06A8.GSD (2 kB)
规格
| 类型 | HPG400 | |
|---|---|---|
| 测量范围（空气，N2） | mbarTorr | 2×10-6 … 1000 |
| 精度 | ||
| 10-5 … 1 毫巴 | % of reading | ±15 (1) |
| 可重复性 | ||
| 10-5 … 10-1 毫巴 | % of reading | 2 |
| 10-1 … 100 毫巴 | % of reading | 30 |
| 热离子发射，可选： | ||
| 选购件 1 | mbar | 1 |
| 选购件 2 | mbar | 5×10-1 |
| 选购件 3 | mbar | 2×10-1 |
| 选购件 4 | mbar | 1×10-1 |
| 选购件 5 | mbar | 5×10-2 |
| 压力， | bar (absolute) | 2 |
| 温度 | ||
| 运行（环境） | °C | 0 … +50 |
| 贮存 | °C | -20 … +70 |
| 在法兰处烘烤 | °C | 80 |
| 移除烘烤电子设备 | °C | 150 |
| 电源电压 | V (dc)A (dc) | 20 … 28 |
| 输出信号模拟 | ||
| 输出信号 | V | 0 … +10.2 |
| 测量范围热阴极 | V | 1.5 … 7.5 |
| 测量范围皮拉尼 | V | 8.5 … 9.75 |
| 电压比压强热阴极 | volts per decade | 1 |
| 电压与压强皮拉尼 | volts per decade | 0.25 |
| 错误信号热阴极 | V | 0.3 |
| 错误信号皮拉尼 | V | 0.5 |
| 最小负载电阻 | kΩ | 10 |
| 接口（数字）(2) | RS232C | |
| 电气连接 | D-Sub, 15-pin, male | |
| 电缆长度， (3) | m (ft.) | 100 (330) |
| 暴露于真空的材料 | Yt2O3, Ir, Pt, Mo, Cu, W, NiFe, NiCr, stainless steel, glass | |
| 内部容积 KF / CF | cm³ (in.³) | 20 (1.2) / 30 (1.8) |
| 重量 KF / CF | g | 430 / 695 |
| 保护等级 | IP30 | |
| DeviceNet™ | ||
| 协议 | DeviceNet™, group 2 slave only | |
| 数据率开关 | kBaud | 125, 250, 500 or network programmable |
| 电缆长度 125 kbps | m (ft.) | 500 (1650) |
| 电缆长度 250 kbps | m (ft.) | 250 (825) |
| 电缆长度 500 kbps | m (ft.) | 100 (330) |
| MAC ID | 2 switches (address 00 - 63) or network programmable | |
| 网络规模 | up to 64 nodes per segment | |
| 数字功能 | read pressure, select units: Torr, mbar, Pa; Pirani full scale adjust, monitor gauge status, safe state allows definition of behavior in case of error, detailed alarm and warning information | |
| 模拟功能 | 0 … 10 V analog output pressure indication, two setpoint relays A + B | |
| 可视通信指示器 | LED network status (green / red) ; LED module status (green / red) | |
| 技术规格 | DeviceNet™ "Vacuum Gauge Device Profile" | |
| 设备类型 | ''CG'' for combination gauge | |
| I / O 从属传讯 | polling only | |
| 设定点继电器： 设定点数量 | 2 | |
| 设定点继电器： 范围 | mbar | 2×10-6 … 100 |
| 设定点继电器： 继电器触点 | n.o., potential free | |
| 设定点继电器： 滞后 | % of reading | 10 |
| 设定点继电器： 触点额定值 | V (dc)A (dc) | 60 |
| DeviceNet™ 电源电压 | V (dc)A (dc) | 11 … 25 |
| 真空计电源电压 | V (dc) | 20 … 28 |
| DeviceNet™ 连接器 | Microstyle, 5-pin | |
| HPG（模拟输出、电源电压、设定点）连接器 | D-Sub, 15-pin, male | |
| Profibus DP | ||
| 波特率 | kBaudMbaud | 9.6 / 19.2 / 93.75 / 187.5 / 500 |
| 地址 | 2 switches (address 00 - 127) or network programmable | |
| 数字功能 | read pressure, select units: Torr, mbar, Pa; Pirani full scale adjust, monitor gauge status, safe state allows definition of behavior in case of error, detailed alarm and warning information | |
| 模拟功能 | 0 … 10 V analog output pressure indication, two setpoint relays A + B | |
| 设定点继电器： 设定点数量 | 2 | |
| 设定点继电器： 范围 | mbar | 2×10-6 … 100 |
| 设定点继电器： 继电器触点 | n.o., potential free | |
| 设定点继电器： 滞后 | % of reading | 10 |
| 设定点继电器： 触点额定值 | V (dc)A (dc) | 60 |
| Profibus DP 连接器 | D-Sub, 9-pin, female | |
| HPG（模拟输出、电源电压、设定点）连接器 | D-Sub, 15-pin, male | |
(1) 精度从 10-5 毫巴至所选热离子排放值
(2) 同时使用 RS232C 或 VGC40x 系列控制器，不允许使用现场总线
(3) 适用于 RS232C 运行 <30m
零件号
| HPG400 | |
|---|---|
| 零件号 | 明细 |
| 353-520 | 皮拉尼真空计 |
| 354-486 | HPG400 Spare meas. system DN 25 ISO-KF |
| 353-521 | HPG400 HP Pirani Gauge; DN 25 ISO-KF |
| 353-522 | HPG400 HP Pirani Gauge; DN 40 CF-F |
| 353-523 | HPG400 HP Pirani Gauge; DN 40 CF-F |
| 353-525 | HPG400-SP HP Pirani Gauge; DN25ISO-KF |
| 353-526 | HPG400-SP PBus，DN 40 CF-F |
| 353-527 | HPG400-SD HP Pirani Gauge; DN25ISO-KF |
| 353-528 | HPG400-SD DNet DN 40 CF-F |
附件
| HPG400 | |
|---|---|
| 零件号 | 明细 |
| 211-113 | 中心圈 with baffle DN 25 KF |
| 353-511 | BPG400 24V电源 |
| 357-499 | Baffle HPG (10 pieces) |
备件
| HPG400 | |
|---|---|
| 零件号 | 明细 |
| 354-487 | HPG400 备用传感器 |
| 354-488 | HPG400 Spare meas. system DN 40 CF-F |
数据表
- HPG400 DE (283 kB)
- HPG400 EN (282 kB)
- HPG400 ES (283 kB)
- HPG400 JA (409 kB)
- HPG400 KO (333 kB)
- HPG400 ZH (411 kB)
手册
- Hot Ion gauge brochure (2 MB)
手册
- TINA31E1_Operating manual_long (1 MB)
- TIMA31E1_Operating manual_short (307 kB)
- TIMA32E1_Operating manual for SD_SP_short (417 kB)
- TIRA03E1_Communication Protocol for DeviceNet (323 kB)
- TIRA36E1_Communication Protocol for ProfiBus (404 kB)
三维步骤文件
- 353-520 HPG400 without LCD (445 kB)
- 353-521 HPG400 without LCD (461 kB)
- 353-525 HPG400-SP with Profibus DP (467 kB)
- 353-527 HPG400-SD with DeviceNet (461 kB)
- 353-522 HPG400 without LCD (452 kB)
- 353-523 HPG400 with LCD (459 kB)
- 353-526 HPG with Profibus DP (470 kB)
- 353-528 HPG400-SD with DeviceNet (464 kB)
- 354-487 HPG Replacment Sensor 25 ISO-KF (31 kB)
- 354-488 HPG Replacment Sensor 25 ISO-KF (45 kB)
其他文件
- HPG400-int.eds (33 kB)
- HPG400-float.eds (33 kB)
- HPG400_06A8.GSD (2 kB)
