小流量气体质量流量传感器-FS4001详细介绍:
一、小流量气体质量流量传感器-FS4001系列主要特性:
1)传感器灵敏度高,有极小的始动流量
2)传感器芯片采用热质量流量计量,无需温度压力补偿,保证了传感器的高精度计量
3)在单个芯片上实现了多传感器集成,使传感器的量程比大大提高
4)传感器的零点稳定度高
5)全量程高稳定性
6)全量程高精确度和优良的重复性
7)低功耗
8)低压损
9)响应时间快
二、小流量气体质量流量传感器-FS4001系列典型应用:
适用于小流量气体质量的流量测量。