铝制高真空L型阀 XLA/C/F/G
 | ・采用铝制主体 均一的烤焙温度 重量轻、外形紧凑 放出气体少 重金属污染少 ・可更换波纹管 |
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| 系列 | 操作方式 | 阀形式 | 轴密封 方式 | 用途 | 法兰 尺寸 |
|---|---|---|---|---|---|
| XLA-2 | 气控 | 单作用 （N.C.） | 波纹管密封 | 除尘 净化 | 16～80 |
| XLAV-2（带电磁阀） | 气控 | 单作用 （N.C.） | 波纹管密封 | 除尘 净化 | 16～80 |
| XLC-2 | 气控 | 双作用 | 波纹管密封 | 除尘 净化 | 16～80 |
| XLF-2 | 气控 | 单作用 （N.C.） | O形圈密封 | 高速动作 高动作次数 | 16～80 |
| XLFV-2（带电磁阀） | 气控 | 单作用 （N.C.） | O形圈 | 高速动作 高动作次数 | 16～80 |
| XLG-2 | 气控 | 双作用 | O形圈 | 高速动作 高动作次数 | 16～80 |
铝制高真空L型阀XLA/C/F/G
| 系列 | 下载 |
|---|---|
| XLA-2 | |
| XLAV-2（带电磁阀） | |
| XLC-2 | |
| XLF-2 | |
| XLFV-2（带电磁阀） | |
| XLG-2 | |
铝材质高真空L型阀 XLA/C-100・160（-1）-X152
 | ・波纹管耐久性提升（法兰尺寸100、160） ・寿命：200万次 ・可实现装置的省空间化 无排气方向限制(阀体侧←→波纹管侧 两方向均可) 安装姿势的自由度提升 ・轻量、紧凑 |
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| 系列 | 操作方式 | 阀形式 | 轴密封方式 | 用途 | 法兰尺寸 |
|---|---|---|---|---|---|
| XLA-100・160-X152 | 气控 | 单作用 （N.C.） | 波纹管密封 | 除尘净化 | 100、160 |
铝材质高真空L型阀XLA/C-100・160（-1）-X152
| 系列 | 下载 |
|---|---|
| XLA-100・160-X152 | |
铝制高真空L型阀 XL□
 | ・耐氟。 ・放出气体量少。 ・重金属污染少。 ※法兰尺寸16〜80的XLA/C/F/G已进行了产品变更。 请选择XLA-2/XLC-2/XLF-2/XLG-2系列。 |
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| 系列 | 操作方式 | 阀形式 | 轴密封 方式 | 用途 | 法兰 尺寸 |
|---|---|---|---|---|---|
| XLA | 气控 | 单作用 （N.C.） | 波纹管密封 | 防尘 净化 | 16～160 |
| XLAV（带电磁阀） | 气控 | 单作用 （N.C.） | 波纹管密封 | 除尘 净化 | 16～160 |
| XLC | 气控 | 双作用 | 波纹管密封 | 除尘 净化 | 16～160 |
| XLCV（带电磁阀） | 气控 | 双作用 | 波纹管密封 | 除尘 净化 | 16～80 |
| XLF | 气控 | 单作用 （N.C.） | O形圈密封 | 高速动作 高动作次数 | 16～160 |
| XLFV（带电磁阀） | 气控 | 单作用 （N.C.） | O形圈 | 高速动作 高动作次数 | 16～160 |
| XLG | 气控 | 双作用 | O形圈 | 高速动作 高动作次数 | 16～160 |
| XLGV（带电磁阀） | 气控 | 双作用 | O形圈 | 高速动作 高动作次数 | 16～80 |
| XLD | 气控 | 单作用 （N.C.） | 波纹管密封 O形圈密封 | 防止扬尘 防止泵过载 | 25～160 |
| XLDV（带电磁阀） | 气控 | 单作用 （N.C.） | 波纹管密封 O形圈密封 | 防止扬尘 防止泵过载 | 25～160 |
| XLH | 手动 | 手动 | 波纹管密封 | 除尘 净化 | 16～50 |
| XLS | 电磁式 | 单作用 （N.C.） | (波纹管平衡) | 无需空气 可搬运装置用 | 16，25 |
铝制高真空L型阀XL□
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|---|---|
| XLA | |
| XLAV（带电磁阀） | |
| XLC | |
| XLCV（带电磁阀） | |
| XLF | |
| XLFV（带电磁阀） | |
| XLG | |
| XLGV（带电磁阀） | |
| XLD | |
| XLDV（带电磁阀） | |
| XLH | |
| XLS | |
铝制快速拆装型 高真空L型阀 XLAQ・XLDQ
 | ・快速拆装（无需工具）。 |
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| 系列 | 操作方式 | 轴密封 方式 | 阀形式 | 材质 | 法兰 尺寸 |
|---|---|---|---|---|---|
| XLAQ | 气控 | 波纹管密封 | 单作用 （N.C.） | 主体：铝 波纹管：SUS316L | 16～50 |
| XLDQ | 气控 | 波纹管密封 O形圈密封 | 单作用 （N.C.） | 主体：铝 波纹管：SUS316L | 40，50 |
铝制快速拆装型 高真空L型阀XLAQ・XLDQ
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|---|---|
| XLAQ | |
| XLDQ | |
不锈钢制高真空L型／直线型阀 XM/XY
 | ・无气体积留的精密铸造结构。 ・铝制高真空L型阀，安装上具有与XL系列的互换性（XM系列）。 注）直线型无尺寸16。 |
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| 系列 | 操作方式 | 轴密封 方式 | 阀形式 | 材质 | 法兰 尺寸 |
|---|---|---|---|---|---|
| XMA/XYA | 气控 | 波纹管密封 | 单作用 （N.C.） | 主体：SCS13（相当于SUS304） 波纹管：SUS316L | 16～80 注） |
| XMC/XYC | 气控· | 波纹管密封 | 双作用 | 主体：SCS13（相当于SUS304） 波纹管：SUS316L | 16～80 注） |
| XMD/XYD | 气控 | 波纹管密封 O形圈密封 | 单作用 （N.C.） | 主体：SCS13（相当于SUS304） 波纹管：SUS316L | 25～80 |
| XMH/XYH | 手动 | 波纹管密封 | 手动 | 主体：SCS13（相当于SUS304） 波纹管：SUS316L | 16～50 注） |
不锈钢制高真空L型／直线型阀XM/XY
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|---|---|
| XMA/XYA | |
| XMC/XYC | |
| XMD/XYD | |
| XMH/XYH | |
常闭型高真空电磁阀 XSA
 | ・使用压力：1×10-6Pa(abs) ・泄漏量：内部1.3×10-9Pa・m3/s、外部1.3×10-11Pa・m3/s。 ・有2种接头和内螺纹可选。 ・消耗功率：最多削减25％。 ・质量：最多减小18％ 0.5kg→0.41kg。 |
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| 系列 | 阀形式 | 使用流体 | 配管连接方式 | 配管尺寸 |
|---|---|---|---|---|
| XSA | 常闭 | 空气 惰性气体 | 面密封接头 卡套式接头 | 1/4, 3/8 |
| XSA | 常闭 | 空气 惰性气体 | Rc, NPT内螺纹 | 1/8, 1/4, 3/8 |
常闭型高真空电磁阀XSA
| 系列 | 下载 |
|---|---|
| XSA | |
| XSA | |
平稳排气阀 XVD
 | ・阀与针阀一体化，配管空间为原来的1/4。 ・密封部采用金属膜片，大幅减少了微粒的产生。 ・初始供气、主給気可同时进行流量调节。 |
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| 系列 | 阀形式 | 使用流体 | 配管连接方式 | 配管尺寸 |
|---|---|---|---|---|
| XVD | 常闭 （加压开・弹簧密封） | 氮气、空气、 惰性气体等 | VCR® Swagelok® | 1/4B |
平稳排气阀XVD
| 系列 | 下载 |
|---|---|
| XVD | |
